Matesy傳感器

技術(shù)文章：

Matesy傳感圖層屬性

濺射氣體的分壓或磁場可影響氣體成分的變化，氣體成分的變化不影響層的厚度，而且影響層的成分。因此，對于層厚度的校正，對磁場的控制和調(diào)節(jié)提出了質(zhì)疑！

Matesy傳感m-cat系統(tǒng)通過表征管狀磁控管，有助于控制濺射系統(tǒng)中的磁性成分。除了對磁場配置進(jìn)行的測量和分析之外，m-cat系統(tǒng)還為可調(diào)磁控管提供了幫助，無論制造商是誰。另外，確定磁控管的幾何形狀（偏轉(zhuǎn)）以*運行。

Matesy傳感通過使用m-cat，您可以增加

性高，因為可以對新的磁控管進(jìn)行接收檢查，并且可以早，地檢測出有缺陷的磁控管。

由于可以以可控的方式設(shè)置可調(diào)磁控管或可以容易地組合合適的磁控管，因此可以實現(xiàn)層厚度的均勻性。

可以避免靶材的壽命，因為可以避免濺射成本高昂的靶材。

Matesy傳感特性

采集完整的磁場輪廓

1分鐘內(nèi)完成測量

磁控管偏轉(zhuǎn)的幾何識別

長度從.4-4. m

提供用于圓形陰和平面陰磁控管的系統(tǒng)

對測量任務(wù)的適應(yīng)性

可選地可以在目標(biāo)中測量

可以記錄可選的目標(biāo)參數(shù)（直徑，偏轉(zhuǎn)）

該系統(tǒng)可以在現(xiàn)有的制造過程中實施

高可用性

m-cat測量單元

磁參數(shù)

磁場配置：33個通道（X，Y，Z）+/- 1

檢測和磁場強度

磁控管偏轉(zhuǎn)的幾何識別

可修剪磁控管的修整輔助功能

野外歷程的圖形表示

Matesy傳感磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- .1 mm

目標(biāo)的幾何形狀（直徑，偏轉(zhuǎn)）：+/- .1毫米

可以記錄可選的目標(biāo)參數(shù)（直徑，偏轉(zhuǎn)）

具有生命周期管理，視圖和設(shè)置選項的軟件

具有CSV格式的單個測量系列的HSE和導(dǎo)出功能

Matesy傳感器